[发明专利]耦合双联抽真空装置及抽真空方法

权利要求书

1.一种耦合双联抽真空装置，所述耦合双联抽真空装置对待抽真空容器进行抽真空，其特征在于，所述耦合双联抽真空装置包括高压气源、第一转接模块、第二转接模块、第一泵体以及第二泵体；

所述耦合双联抽真空装置具有中心面N，所述第一泵体和第二泵体相对于所述中心面N对称布置；

所述第一泵体内设有第一活塞组件，所述第二泵体内设有第二活塞组件，工作时所述第一活塞组件和第二活塞组件相对于所述中心面N成镜像相向运动或镜像相反运动。

2.根据权利要求1所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一转接模块通过第一进气通道与高压气源相连接，所述第一转接模块具有第一气路和第二气路，所述第一泵体内形成有第一预真空腔和第二预真空腔，所述第一预真空腔和第二预真空腔均与待抽真空容器连接。

3.根据权利要求2所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一泵体内具有相互隔开的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内形成有第一驱动腔和第一预真空腔，所述第二腔体内形成有第二驱动腔和第二预真空腔，所述第一驱动腔与所述第一气路连接，所述第二驱动腔与所述第二气路连接。

4.根据权利要求3所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一活塞组件包括第一活塞头和第二活塞头，所述第一活塞头设于第一腔体内，所述第二活塞头设于第二腔体内，所述第一活塞头和第二活塞头通过连接件连接，以使所述第一活塞头和第二活塞头同步同向运动，所述第一活塞头将第一腔体分隔形成所述第一驱动腔和所述第一预真空腔，所述第二活塞头将第二腔体分隔形成所述第二驱动腔和所述第二预真空腔。

5.根据权利要求4所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一泵体内设有将第一腔体和第二腔体分隔开的隔板，所述第一活塞头与隔板之间形成所述第一驱动腔，所述第一活塞头与第一腔体远离隔板的一侧之间形成所述第一预真空腔，所述第二活塞头与隔板之间形成所述第二驱动腔，所述第二活塞头与第二腔体远离隔板的一侧之间形成所述第二预真空腔。

6.根据权利要求2所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一转接模块具有第一工作口、第二工作口以及所述第一进气通道，所述第一进气通道和第一工作口连通形成所述第一气路，所述第一进气通道和第二工作口连通形成所述第二气路。

7.根据权利要求1所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一转接模块还具有第一出气口和第二出气口，所述第一泵体上设有消音器，所述消音器内设有消音腔，所述第一出气口和第二出气口均与消音腔连通，所述消音器的底部设有与消音腔连通的若干消音出口，所述消音出口输出的气体吹向第一泵体的外表面。

8.根据权利要求7所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述消音器包括板体和两个块体，两个所述块体分别设于板体下侧的两端，并且两个所述块体内均设有所述消音腔，所述板体上设有与第一出气口连通的第一消音入口，以及与第二出气口连通的第二消音入口，所述第一消音入口与消音腔连通，所述第二消音入口与消音腔连通。

9.根据权利要求1-8任一项所述的耦合双联抽真空装置，其特征在于，所述第一泵体和第二泵体通过连接部件连接，所述中心面N位于连接部件的中心。

10.一种抽真空方法，所述抽真空方法采用权利要求1所述的耦合双联抽真空装置，所述抽真空方法采用如下步骤：

步骤一：使用气管和第一单向阀将待抽真空容器与第一泵体内的第一预真空腔和第二预真空腔连接；

步骤二：使用气管和第三单向阀将待抽真空容器与第二泵体内的第三预真空腔和第四预真空腔连接；

步骤三：将第一转接模块的第一进气通道连接至高压气源，将第二转接模块的第二进气通道连接至高压气源；

步骤四：同时导通第一气路和第四气路，并同时关闭第二气路和第三气路，高压气源输出的高压气体同时进入第一气路和第四气路，从而对待抽真空容器进行抽真空；

步骤五：同时关闭第一气路和第四气路，并同时导通第二气路和第三气路，高压气源输出的高压气体同时进入第二气路和第三气路，从而对待抽真空容器进行抽真空；

步骤六：重复步骤四至步骤五，使第一预真空腔、第二预真空腔、第三预真空腔以及第四预真空腔内逐步接近真空环境，最终使待抽真空容器形成真空环境。