[发明专利]一种F-P干涉仪及其制备方法在审
| 申请号： | 202211378385.6 | 申请日： | 2022-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN115657188A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 解振海;谢红 | 申请（专利权）人： | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/08 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种F‑P干涉仪及其制备方法，涉及光学滤波技术领域。该F‑P干涉仪包括MEMS平移组件，以及设置在所述MEMS平移组件上的第一分光镜；所述MEMS平移组件包括基座，以及与所述基座连接的悬臂，所述悬臂上连接有与所述第一分光镜平行的第二分光镜；所述第一分光镜通过所述基座与所述MEMS平移组件连接，所述悬臂能够带动所述第二分光镜靠近或远离所述第一分光镜，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。采用上述形式，能够简化设置形式，降低生产成本，以提升使用时的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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