[发明专利]一种红外热电堆传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202211370697.2 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN115557464A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 张丹;郭桂良 | 申请（专利权）人： | 北京中科银河芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01J5/02;G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 张子宽 |
| 地址： | 100039 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种红外热电堆传感器及其制造方法，涉及微电子机械系统技术领域，以解决现有吸收层面积较小、传感器的响应率较低的问题。所述红外热电堆传感器包括基底、支撑层、热电堆层和吸收层，基底包括外环体和内支撑体，外环体和内支撑体之间形成有空腔；支撑层设置于基底上方，支撑层上设置有贯穿孔；热电堆层设置于支撑层上方，热电堆层包括多个串联设置的热电臂，热电臂具有冷端和热端，热电臂的冷端和热端之间存在弯折段；吸收层设置于热电堆层上方，吸收层与热电臂的热端相连，吸收层用于接收外部能量并将能量传递至热电臂的热端。所述红外热电堆传感器的制造方法包括上述技术方案所提的红外热电堆传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 热电 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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