[发明专利]一种跨尺度微纳器件装配的显微视觉检测装置和标定方法在审
| 申请号： | 202211355535.1 | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN115682934A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张娟;杜凯;杨毅;王大松;吴文荣;毕列;程俊森;彭博;魏红;温明;杨宏刚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 潘育敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种跨尺度微纳器件装配的显微视觉检测装置和标定方法，包括第一显微视觉系统和第二显微视觉系统，用以微纳器件的正面和侧面特征检测；第三显微视觉系统，用以微纳零件的顶部特征检测；第四显微视觉系统，用以微纳器件的底部特征检测，还包括一种利用跨尺度微纳器件装配的显微视觉检测装置的标定方法；通过标定显微视觉系统图像偏移矩阵，以及零件位置运动控制的图像雅可比矩阵实现跨景深检测；推导关系矩阵，结合关系矩阵标定方法，实现零件绕Z轴角度偏差的检测；本发明适用于跨尺度微纳器件装配的显微视觉检测，能够从多角度进行检测，同时通过关系推导进行零件旋转角度偏差的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 器件 装配 显微 视觉 检测 装置 标定 方法 | ||
【主权项】：
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