[发明专利]一种单胺基取代硅烷的制备方法在审
| 申请号： | 202211328391.0 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115677747A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 唐超;朱思坤;李建恒 | 申请（专利权）人： | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C07F7/20 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 田浩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单胺基取代硅烷的制备方法，涉及应用于原子层沉积的硅基前驱体材料制备技术领域。本发明以二级有机胺、碱化合物为原料，以烷烃溶剂或醚类溶剂为反应溶剂，反应得到有机胺基碱溶液，将该有机胺基碱溶液与一氯硅烷反应，得到反应物。将反应物过滤得到滤液，滤液蒸馏后得到液体即为单胺基取代硅烷粗品，将粗品精馏，得到单胺基取代硅烷精品。本发明制备得到的单胺基取代硅烷粗品GC纯度＞95％，收率大于85％，氯含量低于10ppm。使后续精馏处理得到的单胺基取代硅烷中氯含量低于1ppm，符合半导体行业对此类产品7N的规格要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 胺基 取代 硅烷 制备 方法 | ||
【主权项】：
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