[发明专利]直线度测量系统和直线度测量方法在审
| 申请号： | 202211324553.3 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115824135A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 李辉 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/24 | 分类号： | G01B21/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 李亚洲 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直线度测量系统和直线度测量方法。直线度测量系统包括底座、定位运动装置、测量装置和数据采集仪器，定位运动装置可移动地设置在底座上；测量装置固定在底座上，用于在定位运动装置移动至目标测量位置时，测量定位运动装置的各个位置点与测量装置之间的距离值；数据采集仪器与测量装置连接，用于根据距离值获得定位运动装置的直线度曲线，以及，根据所述直线度曲线对所述定位运动装置的直线度进行优化。本发明的直线度测量系统的测量结果准确、结构简单、成本低且便于调节，系统的工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 直线 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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