[发明专利]直线度测量系统和直线度测量方法

权利要求书

1.一种直线度测量系统，其特征在于，包括：

底座；

定位运动装置，所述定位运动装置可移动地设置在所述底座上；

测量装置，所述测量装置固定在所述底座上，用于在所述定位运动装置移动至目标测量位置时，测量所述定位运动装置的各个位置点与所述测量装置之间的距离值；

数据采集仪器，所述数据采集仪器与所述测量装置连接，用于根据所述距离值获得所述定位运动装置的直线度曲线，以及，根据所述直线度曲线对所述定位运动装置的直线度进行优化。

2.根据权利要求1所述的直线度测量系统，其特征在于，所述定位运动装置包括：

若干导轨，若干所述导轨铺设在所述底座上；

驱动电机，所述驱动电机设置在底座上；

光栅，所述光栅铺设在所述底座上，并与若干所述导轨同向设置，用于反馈所述定位运动装置的位置信息；

运动座，所述运动座设置在若干所述导轨上并与所述驱动电机电连接，用于受到所述驱动电机驱动以沿着所述导轨移动。

3.根据权利要求2所述的直线度测量系统，其特征在于，所述测量装置包括：

平尺，所述平尺设置在所述运动座上，用于跟随所述运动座运动，所述平尺的延伸方向与若干所述导轨的延伸方向相同；

连接底座，所述连接底座固定在所述底座上；

升降支架，所述升降支架的第一端与所述连接底座连接，所述升降支架的第二端相较于所述第一端的高度差可调；

测距模块，所述测距模块安装在所述升降支架的第二端，所述测距模块用于在所述平尺的测量面上的坐标点运动至所述目标测量位置时测量所述坐标点与所述测量装置之间的距离。

4.根据权利要求3所述的直线度测量系统，其特征在于，所述底座的安装面的平面精度等级低于所述平尺的测量面的平面精度等级。

5.根据权利要求1-4任一项所述的直线度测量系统，其特征在于，

所述数据采集仪器用于，获取所述直线度曲线中的原点以作为参考点，以及，获取所述直线度曲线中直线度大于或者小于所述参考点的坐标点以作为待调节点，根据所述参考点对应的直线度对所述待调节点对应的直线度进行优化。

6.根据权利要求5所述的直线度测量系统，其特征在于，所述定位运动装置的直线度包括所述定位运动装置的水平直线度和所述定位运动装置的垂直直线度。

7.一种直线度测量方法，其特征在于，用于权利要求1-6任一项所述直线度测量系统，所述直线度测量方法包括：

确定定位运动装置的各个位置点的坐标点；

控制所述定位运动装置由原点位置运动至目标位置，并在所述定位运动装置运动至目标测量位置时测量所述定位运动装置的各个位置的坐标点与所述测量装置之间的距离值；

根据所述距离值获取所述定位运动装置的直线度曲线；

根据所述直线度曲线对所述定位运动装置的直线度进行优化。

8.根据权利要求7所述的直线度测量方法，其特征在于，确定所述定位运动装置的各个位置的坐标点至少包括：

确定所述定位运动装置的原点位置的坐标点。

9.根据权利要求7所述的直线度测量方法，其特征在于，所述定位运动装置的直线度曲线的横轴为各个所述坐标点对应的坐标，所述定位运动装置的直线度曲线的纵轴为所述定位运动装置运动至目标测量位置时各个所述坐标点与所述测量装置之间的距离值。

10.根据权利要求8或9所述的直线度测量方法，其特征在于，根据所述直线度曲线对所述定位运动装置的直线度进行优化，包括：

获取所述直线度曲线中的原点以作为参考点；

获取所述直线度曲线中直线度大于或者小于所述参考点的坐标点以作为待调节点；

根据所述参考点对应的直线度对所述待调节点对应的直线度进行优化。