[发明专利]单晶硅样片清洗剂和清洗方法在审
| 申请号： | 202211317375.1 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115537272A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 钟峰;蔺宝林;周佑林;潘洁 | 申请（专利权）人： | 新疆晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/78 | 分类号： | C11D1/78;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/60;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅样片清洗剂和清洗方法，单晶硅样片清洗剂包括：椰子油烷基酰胺磷酸酯4％、螯合剂0.2％‑0.4％、磷酸3％‑6％、氢氟酸2％‑5％、盐酸3％‑8％、硝酸0.1％‑0.3％，其余为去离子水。通过本发明提供的单晶硅样片清洗剂清洗单晶硅样片时，无需专业设备和特定场所进行操作，能够现场随时对单晶硅样片进行清洗，增加工序流转的便捷性，减少厂房、专业设备投入的成本，无需人工搅拌清洗，节约人工成本，并且清洗后的单晶硅样片清洗效果好，检测质量稳定均一。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 样片 洗剂 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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