[发明专利]一种ITO靶材打磨用工装夹具在审
| 申请号： | 202211295286.1 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN115625634A | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏东玖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京中知音诺知识产权代理事务所(普通合伙) 13138 | 代理人： | 张童 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市睢宁县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部安装有放置台，所述底座的顶部安装有固定板，所述支撑板的一侧安装有固定装置，所述放置台的底部安装有调节装置，所述放置台的顶部位于中心位置开设有装置槽；所述固定装置包括：压杆，该压杆具有直角杆状结构，以及设置在所述压杆一端的电动推杆，所述压杆远离电动推杆的一端通过转动座转动连接有挤压板，所述压杆的外侧通过转动座转动连接有限位支撑架；复位弹簧，该复位弹簧设置在装置槽内部，本发明涉及ITO靶材技术领域。该一种ITO靶材打磨用工装夹具，可根据靶材的重量控制夹紧力，能控制好夹持力度，适应性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 打磨 用工 夹具 | ||
【主权项】：
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