[发明专利]一种ITO靶材打磨用工装夹具

说明书

本发明公开了一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部安装有放置台，所述底座的顶部安装有固定板，所述支撑板的一侧安装有固定装置，所述放置台的底部安装有调节装置，所述放置台的顶部位于中心位置开设有装置槽；所述固定装置包括：压杆，该压杆具有直角杆状结构，以及设置在所述压杆一端的电动推杆，所述压杆远离电动推杆的一端通过转动座转动连接有挤压板，所述压杆的外侧通过转动座转动连接有限位支撑架；复位弹簧，该复位弹簧设置在装置槽内部，本发明涉及ITO靶材技术领域。该一种ITO靶材打磨用工装夹具，可根据靶材的重量控制夹紧力，能控制好夹持力度，适应性更好。

技术领域

本发明涉及ITO靶材技术领域，具体为一种ITO靶材打磨用工装夹具。

背景技术

ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体，ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上，ITO薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米--200纳米。ITO靶材烧结完成后会有一定程度的变形，所以需要对其进行相应的切割和平面打磨以达到客户要求的尺寸，完成切割的靶材，侧面会有切割痕，故而需要对其进行打磨处理，而在打磨工序中，需要通过工装夹具对ITO靶材进行夹持固定。

现有的装置对靶材的夹持力度固定，无法根据靶材的重量控制夹紧力，夹持力度无法调整，适应性和实用性都较差。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供：一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部安装有放置台，所述底座的顶部安装有固定板，所述支撑板的一侧安装有固定装置，所述放置台的底部安装有调节装置，所述放置台的顶部位于中心位置开设有装置槽；

所述固定装置包括：

压杆，该压杆具有直角杆状结构，以及设置在所述压杆一端的电动推杆，所述压杆远离电动推杆的一端通过转动座转动连接有挤压板，所述压杆的外侧通过转动座转动连接有限位支撑架；

复位弹簧，该复位弹簧设置在装置槽内部，所述复位弹簧的顶部安装有防滑装置，所述装置槽的内壁安装有固定滑片，所述防滑装置的底部安装有接触板，所述接触板的底部安装有移动滑片，靶材放置在防滑装置上对复位弹簧进行挤压，复位弹簧受力压缩进装置槽内，此时防滑装置向下移动并带动接触板下滑，接触板带动移动滑片接触到固定滑片并沿着固定滑片下滑，通过移动滑片在固定滑片上滑动的距离判断靶材的重量，当放置的靶材重力较重时，移动滑片在固定滑片上滑动的距离较长，此时通过移动滑片和固定滑片的配合控制电动推杆增大推力，此时挤压板对靶材的挤压力较大，当放置的靶材较轻时，移动滑片在固定滑片上滑动的距离较短，电动推杆推力减小，此时挤压板对靶材的挤压力较小，可根据靶材的重量控制夹紧力，能控制好夹持力度，适应性更好。

优选的，所述电动推杆的移动端通过连接架与压杆的底部转动连接，所述电动推杆远离压杆的一端通过转动座与支撑板转动连接。

优选的，所述限位支撑架设置有两组且对称分布在压杆的两侧，所述限位支撑架的底部与放置台的顶部固定连接。

优选的，所述固定滑片和移动滑片均设置在电动推杆的控制电路上，打磨的靶材较轻时，可控制电动推杆推力减小，进而对靶材的挤压力较小，可对较薄较小的靶材进行保护，防止其受力过度导致变形损坏，所述复位弹簧的底部与装置槽的内壁固定连接。