[发明专利]一种ITO靶材打磨用工装夹具

权利要求书

1.一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括底座(1)，其特征在于：

所述底座(1)的顶部固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的顶部安装有放置台(3)，所述底座(1)的顶部安装有固定板(4)，所述支撑板(2)的一侧安装有固定装置(5)，所述放置台(3)的底部安装有调节装置(6)，所述放置台(3)的顶部位于中心位置开设有装置槽(7)；

所述固定装置(5)包括：

压杆(51)，该压杆(51)具有直角杆状结构，以及设置在所述压杆(51)一端的电动推杆(52)，所述压杆(51)远离电动推杆(52)的一端通过转动座转动连接有挤压板(53)，所述压杆(51)的外侧通过转动座转动连接有限位支撑架(54)；

复位弹簧(55)，该复位弹簧(55)设置在装置槽(7)内部，所述复位弹簧(55)的顶部安装有防滑装置(56)，所述装置槽(7)的内壁安装有固定滑片(57)，所述防滑装置(56)的底部安装有接触板(58)，所述接触板(58)的底部安装有移动滑片(59)。

2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述电动推杆(52)的移动端通过连接架与压杆(51)的底部转动连接，所述电动推杆(52)远离压杆(51)的一端通过转动座与支撑板(2)转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述限位支撑架(54)设置有两组且对称分布在压杆(51)的两侧，所述限位支撑架(54)的底部与放置台(3)的顶部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述固定滑片(57)和移动滑片(59)均设置在电动推杆(52)的控制电路上，所述复位弹簧(55)的底部与装置槽(7)的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述防滑装置(56)包括防滑板(561)，所述防滑板(561)的顶部开设有弧形槽(562)，所述弧形槽(562)的内部安装有防滑气囊(563)，所述防滑气囊(563)的顶部安装有摩擦垫片(564)，所述防滑板(561)的内部位于中心位置开设有凹槽(565)，所述凹槽(565)的内部安装有储气囊(567)，所述储气囊(567)均匀连通有控制阀(568)。

6.根据权利要求5所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述弧形槽(562)设置有多组且均匀分布在防滑板(561)上，所述摩擦垫片(564)设置有多组且均匀分布在防滑气囊(563)上。

7.根据权利要求5所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述控制阀(568)远离储气囊(567)的出气端与防滑气囊(563)的进气端连通，所述防滑气囊(563)设置有多组，所述防滑板(561)的底部与接触板(58)的顶部固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述调节装置(6)包括滑动套筒(61)，所述滑动套筒(61)的内壁通过轴承(62)转动连接有固定套筒(63)，所述固定套筒(63)的一端固定连接有支撑柱(64)，所述固定套筒(63)的内壁滑动连接有密封活塞(65)，所述密封活塞(65)的一端延伸至固定套筒(63)的外部并固定连接有按压板(66)，所述滑动套筒(61)的内壁开设有限位孔(67)，所述固定套筒(63)的内壁连通有延伸管(68)，所述延伸管(68)的内壁滑动连接有移动活塞(69)，所述移动活塞(69)的一端延伸至延伸管(68)的外部并固定连接有卡块(60)。

9.根据权利要求8所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述滑动套筒(61)的外侧与放置台(3)的底部固定连接，所述支撑柱(64)远离固定套筒(63)的一端与固定板(4)固定连接。

10.根据权利要求8所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于：所述固定套筒(63)的内部填充有液压油，所述限位孔(67)设置多组且均匀分布在滑动套筒(61)内壁，所述延伸管(68)设置有多组且与限位孔(67)一一对应，所述卡块(60)与限位孔(67)相互适配。