[发明专利]一种光电薄膜退火方法和退火设备

摘要

本发明公开一种光电薄膜退火方法和退火设备，涉及薄膜太阳能电池功能膜层制备领域，其中所述退火方法包括如下步骤：控制退火设备各轴归零，将形成薄膜需要退火的基片放置在设备基片台上；通过激光位移传感器获取激光光路终端与薄膜表面的绝对距离，并调节到合适的数值H1；使用连续激光器通过特定光路对薄膜进行线性加热，同步获取加热区域表面温度信息；根据表面温度信息计算激光参数，使薄膜表面获得需要的温度T1；对薄膜表面进行移动性加热，直至完成基片表面薄膜的退火处理；该方法利用激光快速加热薄膜本体，提升控温精度，能保证薄膜退火效果的情况下不加热基材，减弱了退火温度要求对基材的限制，免去了预热过程，提高退火处理效率。