[发明专利]振动元件的制造方法在审
| 申请号： | 202211291931.2 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN116015237A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 白石茂;坂田日和;山口启一;西泽龙太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李庆泽;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。振动元件的制造方法包括：底膜形成工序，在石英基板的第1基板面中的第1振动臂形成区域和第2振动臂形成区域形成第1底膜；保护膜形成工序，在第1底膜中的堤部形成区域形成第1保护膜；以及干蚀刻工序，隔着第1底膜和第1保护膜对石英基板进行干蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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