[发明专利]一种曲线掩膜的数字图像生成方法、装置及计算机设备在审

专利信息
申请号: 202211288403.1 申请日: 2022-10-20
公开(公告)号: CN116051669A 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 高世嘉 申请(专利权)人: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
主分类号: G06T11/20 分类号: G06T11/20;G06T5/00;G06T7/13
代理公司: 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 代理人: 冯彬彬
地址: 100176 北京市大兴区北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及光刻技术领域,其特别涉及一种曲线掩膜的数字图像生成方法、装置及计算机设备,本发明提供的一种曲线掩膜的数字图像生成方法,包括以下步骤:基于预处理图像的像素点提取轮廓点并基于轮廓点建立贝塞尔曲线的数学曲线模型;基于数学曲线模型对预处理图像进行预处理获得数字信号图像;对数字信号图像依次进行卷积处理和降采样处理以生成数字图像。本发明还提供一种装置及计算机设备。解决了现有技术生成数字图像效率低,清晰度差问题。
搜索关键词: 一种 曲线 数字图像 生成 方法 装置 计算机 设备
【主权项】:
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