[发明专利]微机电系统传感器在审
| 申请号： | 202211288148.0 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN116374939A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李忠镐;姜诚赞;金载兴;尹容燮 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周祺;倪斌 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种微机电系统(MEMS)传感器，包括：基板，包括第一空腔；第一框架，包括至少部分地与第一空腔重叠的第二空腔，第一框架的至少一部分与基板间隔开；多个谐振器，多个谐振器中的每一个包括与第一框架连接的第一端以及延伸到第二空腔中的第二端；以及第二框架，包括与第一框架连接的第一区以及与第一框架间隔开的第二区。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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