[发明专利]绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置

摘要

本发明提供了一种绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置，所述绝缘支撑结构包括支撑主体和套体，所述支撑主体的一侧支撑侧开设有嵌合凹槽，另一侧支撑侧设置有嵌合凸起；所述套体套设所述支撑主体，所述套体和所述支撑主体之间设置有间隔件，所述间隔件用于连接所述套体与所述支撑主体，并且所述套体与所述支撑主体之间形成具有连通间隙的夹层空间，所述连通间隙用于连通所述夹层空间与所述套体的外部空间。本发明采用嵌合凸起以及嵌合凹槽进行配合，实现多级电极板之间的绝缘支撑，取消绝缘杆结构，通过设置夹层空间，避免沉积连续膜结构造成的短路问题。