[发明专利]一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备及方法在审
| 申请号： | 202211279334.8 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN115463907A | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 萧进展;凃英杰 | 申请（专利权）人： | 东莞仕达通自动化有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/02 | 分类号： | B08B7/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 东莞市东理专利代理事务所(普通合伙) 44805 | 代理人： | 苏景林;谢志权 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备及方法，涉及晶片除尘领域，针对现有技术中的问题，提出以下解决方案，其技术方案包括直线滑台以及驱动直线滑台做直线往复运动的直线电机，所述直线滑台上表面通过至少两个安装支架固定有与直线滑台平行设置的旋转支架，所述旋转支架内侧设置有用于吸附晶片的晶片吸盘；所述安装支架的两侧对称固定有气流加速结构，所述气流加速结构在直线滑台移动的过程中对气流加压后向晶片吹送气流。本发明通过直线电机的高速移动配合移动时产生的加压气流、以及撞击产生的振动对晶片表面的灰尘去除，避免晶片损坏，灰尘去除效果好，清洁度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 直线 电机 减速 特性 除尘 设备 方法 | ||
【主权项】：
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