[发明专利]一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备及方法

权利要求书

1.一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备，用于对晶片的表面除尘，包括直线滑台以及驱动直线滑台做直线往复运动的直线电机，其特征在于，所述直线滑台上表面通过至少两个安装支架固定有与直线滑台平行设置的旋转支架，所述旋转支架内侧设置有用于吸附晶片的晶片吸盘；

所述安装支架的两侧对称固定有气流加速结构，所述气流加速结构在直线滑台移动的过程中对气流加压后向晶片吹送气流。

2.根据权利要求1所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备，其特征在于，所述气流加速结构具有固定在安装支架外侧、朝向直线滑台移动一侧的气流排出管道，所述气流排出管道沿轴线方向排列有多个朝向晶片的气流吸入框架；

所述气流排出管道与气流吸入框架的连接处通过平滑曲面过渡。

3.根据权利要求2所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备，其特征在于，所述气流排出管道的开口大于气流吸入框架的气流出口，所述气流吸入框架与气流排出管道连接处至气流吸入框架的出口处，其管径呈逐渐缩小；

在气流通过气流排出管道流向气流吸入框架时，气流被加压，向晶片吹送高速气流。

4.根据权利要求1所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备，其特征在于，所述晶片吸盘通过旋转轴转动安装在旋转支架内侧，所述旋转轴上固定有至少一个向下延伸的配重块，配重块的前侧固定有锁止螺杆；

所述旋转支架与锁止螺杆垂直的表面开设有供锁止螺杆摆动的弧形通槽；

所述锁止螺杆上还设置有与其螺纹配合对配重块的摆动状态调整的锁止螺母。

5.根据权利要求4所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备，其特征在于，当所述锁止螺杆与锁止螺母处于锁止状态时，配重块不随直线滑台的移动而摆动，在所述直线滑台移动的过程中，晶片吸盘始终处于水平状态。

6.根据权利要求5所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的设备，其特征在于，当所述锁止螺杆与锁止螺母处于未锁止状态时，配重块随直线滑台的移动由于惯性而摆动，在所述直线滑台移动的过程中，晶片吸盘根据直线滑台的移动方向调节摆动状态。

7.根据权利要求1所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的方法，其特征在于，利用权利1-6任一项所述的除尘的设备，包括如下步骤：

步骤一：固定晶片，将待除尘的晶片放置在晶片吸盘上，并通过晶片吸盘对晶片吸附固定；

步骤二：驱动直线滑台高速移动，并不断切换直线滑台的移动方向，利用高速移动产生的气流配合惯性振产生的振动将晶片表面的灰尘去除；

步骤三：除尘完成后，将晶片取下。

8.根据权利要求7所述的一种利用直线电机高加减速特性来除尘的方法，其特征在于，在所述步骤二之前，根据晶片的实际除尘需要，调节锁止螺母与锁止螺杆之间的锁紧状态。