[发明专利]一种三维位移台及其控制系统在审
| 申请号： | 202211274682.6 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115639845A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 李全同;刘珠明;余剑雄;马建国;王长安;周洁林;张衍俊;张誉腾;王其瑞;陈志涛 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 戴尧罡 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种三维位移台及其控制系统，涉及位移台技术领域。该三维位移台包括台体、X轴电机、Y轴电机、Z轴电机、X轴传感器、Y轴传感器、Z轴传感器以及控制器，控制器分别与X轴电机、Y轴电机、Z轴电机、X轴传感器、Y轴传感器以及Z轴传感器电连接，X轴电机、Y轴电机以及Z轴电机均安装于台体上，X轴传感器安装于X轴电机上，Y轴传感器安装于Y轴电机上，Z轴传感器安装于Z轴电机上；其中，X轴电机、Y轴电机、Z轴电机用于依据控制器的控制信号进行运动；X轴传感器、Y轴传感器、Z轴传感器用于获取X轴电机、Y轴电机、Z轴电机的运动量。本申请提供的三维位移台及其控制系统具有可实现对位移台位置进行自动控制的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 位移 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省科学院半导体研究所，未经广东省科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211274682.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
