[发明专利]一种梳齿电容式加速度计在审
| 申请号： | 202211268113.0 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115407084A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 杨俊飞;任延超;闫桂珍;段国栋 | 申请（专利权）人： | 北京微元时代科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 和成 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种梳齿电容式加速度计，涉及微机械加速度计技术领域，包括衬底和加速度计结构，加速度计结构设置于衬底上；加速度计结构包括固支框架、敏感质量块框架和非可动电极组件，非可动电极组件通过电极锚点固定于衬底上，敏感质量块框架上设置有可动电极组件，可动电极组件与非可动电极组件一一对应，且相对应的可动电极组件与非可动电极组件构成梳齿电容结构；固支框架通过固支框架锚点固定于衬底上，且固支框架通过弹性结构与敏感质量块框架连接，弹性结构使敏感质量块框架能够沿敏感轴方向移动。本发明可以有效降低加速度计结构内部的热应力，从而保证加速度计在环境温度变化时性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梳齿 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
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