[发明专利]一种加热器及等离子刻蚀设备在审
| 申请号： | 202211267666.4 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115442926A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 张二辉;王俊 | 申请（专利权）人： | 上海微芸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/22 | 分类号： | H05B3/22;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京市一法律师事务所 11654 | 代理人： | 刘荣娟 |
| 地址： | 201299 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种加热器及等离子刻蚀设备，所述加热器包括：若干连接部和若干长度不同的指状凸出部，所述若干连接部和若干指状凸出部均匀布满所述加热器；所述连接部设置在所述加热器的边缘，与所述指状凸出部交替设置，一体化连接；若干长度不同的所述指状凸出部交错排布，且分别从与所述连接部的连接端指向所述加热器的中心。本申请提供一种加热器及等离子刻蚀设备，对加热器的结构进行改进，可以提高加热器的加热效率以及温度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 等离子 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
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