[发明专利]基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统

摘要

本发明的一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，属于真空镀膜技术领域，共包括两组模型工件，两组模型工件分别被安装在两个多自由度工作平台上，其中一组模型工件围绕多自由度工作平台的中心进行公转，另一组模型工件围绕其中心进行自传；将模型工件进行微分，按等间距进行分割，取交点代表工件镀膜层，并对模型工件上的分割点进行运动分析；以点的位置进行分析，对时间进行积分；评估系统具体包括：模型工件计算程序；单分割点路径计算程序；均匀性判断程序。本发明的有益效果是可通过点阵扫描法完成大多数复合运动镀膜均匀性的定性及定量评估，自动计算程度高，功能多样。