[发明专利]基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统

权利要求书

1.一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，其特征在于：共包括两组模型工件，两组模型工件分别被安装在两个多自由度工作平台上，其中一组模型工件围绕多自由度工作平台的中心进行公转，另一组模型工件围绕其中心进行自传，两组模型工件的运动同时进行；

将模型工件进行微分，按等间距进行分割，取交点代表工件镀膜层，并对模型工件上的分割点进行运动分析；

以点的位置进行分析，对时间进行积分，等于每一步进行时间累计，步长决定了最终模型分析的精度，步长越短，则精度越高；

评估系统具体包括：

模型工件计算程序；单分割点路径计算程序；均匀性判断程序。

2.根据权利要求1所述的一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，其特征在于，模型工件计算程序：

x2＝a-L/2:0.1:a+L/2；

y2＝W/2；

subplot(1,2,1)；

plot(x2,y2,'Linestyle',':')；

x3＝a-L/2:0.1:a+L/2；

y3＝-W/2；

subplot(1,2,1)；

plot(x3,y3,'Linestyle',':')；

x4＝a-L/2；

y4＝-W/2:0.1:W/2；

subplot(1,2,1)；

plot(x4,y4,'Linestyle',':')；

x5＝a+L/2；

y5＝-W/2:0.1:W/2；

subplot(1,2,1)；

plot(x5,y5,'Linestyle',':')；

holdon。

3.根据权利要求1所述的一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，其特征在于，单分割点路径计算程序：

t＝0:0.01:T；

x＝a.*cos(wg.*t)+(wi^2+lj^2)^0.5*cos(wz*t+atan(wi/lj))；

y＝a.*sin(wg.*t)+(wi^2+lj^2)^0.5*sin(wz*t+atan(wi/lj))；

subplot(1,2,1)；

plot(x,y,'r','LineWidth',2)。

4.根据权利要求1所述的一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，其特征在于，均匀性判断程序：

5.根据权利要求1-4所述的一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，其特征在于，还包括对数据循环过程进行量化处理及判断程序：