[发明专利]一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法，包括：柔性氟晶云母衬底；第一石墨烯层，设于所述柔性氟晶云母衬底的表面；氧化镓薄膜，设于所述第一石墨烯层的表面；第二石墨烯层，设于所述氧化镓薄膜的表面；其中，所述第一石墨烯层和所述第二石墨烯层分别作为两个电极。该探测器通过采用柔性氟晶云母衬底可以实现探测器具有较高的柔韧性；由于石墨烯为透明材料，选择第一石墨烯层和第二石墨烯层作为两个电极可以使光电探测器具有更好的透光能力，其中，而第一石墨烯层既可以作为透明电极，又可以提高氧化镓薄膜的晶体质量，而且该探测器结构简单，透明度好，性能优越，稳定性好。