[发明专利]用于氧化镓外延的集气环及用于氧化镓外延的MOCVD设备在审
| 申请号： | 202211255458.2 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN115467019A | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 徐涛;李娇;柳元昊 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/12;C30B25/10;C30B29/16;C23C16/46;C23C16/455;C23C16/40 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 陆颖 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氧化镓外延的集气环以及具有该集气环的用于氧化镓外延的MOCVD设备，所述用于氧化镓外延的集气环包括环状本体，所述环状本体包括相对设置的第一端面、第二端面及位于第一端面和第二端面之间的内表面和外表面，所述第一端面、第二端面、内表面和外表面共同围合形成腔室，所述内表面上开设有与所述腔室连通的多个第一气流孔，所述外表面上开设有与所述腔室连通的多个第二气流孔。本发明的用于氧化镓外延的集气环以及用于氧化镓外延的MOCVD设备，能够解决现有设备内部各部件被氧化镓外延所需氧气氧化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氧化 外延 集气环 mocvd 设备 | ||
【主权项】：
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