[发明专利]一种超音速火焰喷涂控制方法和装置在审
| 申请号： | 202211248854.2 | 申请日： | 2022-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN115469538A | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陈肖华;吴万里;刘兴平;银波;冯留建;刘浩;周克虎;加依达尔·包啦提 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02;C23C4/129 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 李清风 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种超音速火焰喷涂控制方法和装置，涉及多晶硅生产设备技术领域。该方法包括：获取喷涂火焰图像信息；根据所述喷涂火焰图像信息，确定火焰图像特征信息；所述火焰图像特征信息包括火焰颜色特征、火焰形状特征和火焰马赫环特征中至少一项；根据所述火焰图像特征信息，调整喷涂进气参数，使喷涂火焰(直接反应喷涂质量)符合预设合格标准。本申请的方案，通过火焰图像特征信息，动态调整喷涂系统喷涂控制工艺参数，从而实现喷涂工艺的稳定，保证喷涂的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超音速 火焰 喷涂 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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