[发明专利]一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211247445.0 | 申请日： | 2022-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN115589760A | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 冯科;王水根;邓惠丹;段青松;陈南菲;漆锐;谭庆;杨玉 | 申请（专利权）人： | 中冶赛迪工程技术股份有限公司;中冶赛迪技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | H10N10/17 | 分类号： | H10N10/17;G01K7/00;H10N10/01 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 杨柳岸 |
| 地址： | 400013*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。传感器主要包括金属基底、金属过渡层I、金属粘结层I、绝缘层I、光刻胶、金属传感层、金属过渡层II、金属粘结层II、绝缘层II、金属保护片、金属过渡层III、金属粘结层III和环氧树脂；制作方法为：选取用于传感器沉积的金属基底；通过电镀、旋涂、光刻、磁控溅射等工艺步骤将过渡层、粘结层、绝缘层、传感层和保护层逐层沉积上去，形成典型的三明治层状结构。本发明能有效保障传感器在恶劣工业环境中的使用效果，并有助于大幅提升其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 衬底 纳米 薄膜 热流 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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