[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 202211243305.6 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN116065120A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 佐藤贵康 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/50 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 欧淑丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式所涉及的成膜装置在减压后的处理容器内设有在基板进行真空成膜的成膜室、以及与成膜室连通并对基板进行冷却的冷却室，冷却室具备：供基板移动的通路；以及冷却装置，其配置于处理容器的内壁，包括与通路相对的表面积扩大构造部、以及冷却剂的冷却剂流路。表面积扩大构造部包括从处理容器的内壁朝向通路突出设置的多个突出部，冷却剂流路沿着突出部形成。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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