[发明专利]生产单晶硅还原炉及其生产方法

摘要

本发明公开了生产单晶硅还原炉及其生产方法，涉及单晶炉技术领域，包括单晶硅炉主体，所述单晶硅炉主体的底部固定套接有固定架，所述固定架顶部的一端设置有控制面板，所述单晶硅炉主体的顶部固定安装有物料箱，所述单晶硅炉主体包括防护机构和密封机构，所述密封机构的底部设置在防护机构的顶部。本发明通过保温罩、保温垫和保温板相互配合，在设备高温加热时，利用保温罩的隔热性，达到设备保温防护的功能，然后再利用保温垫和保温板对设备顶部进行隔热，达到二次保温防护的功能，避免热量消散太快，影响设备加工效率的问题，有利于装置增加保温功能，提高装置工作效率，达到节省资源的功能。