[发明专利]基于白光显微干涉的微球内外表面缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 202211210646.3 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115598147A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 郭仁慧;刘杨;宗毅;薛亮;蒋金威;钱宇;李建欣;陈磊 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952;G01N21/954;G01N21/01 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于白光显微干涉技术的微球内外表面缺陷检测装置及方法，将白光干涉技术与Linnik型显微干涉技术相结合，装置包括光源模块、光程匹配模块、显微干涉模块以及图像采集模块。白光光源经过偏振片变为线偏振光后进入光程匹配模块，产生带有一定光程差的偏振方向正交的光进入零位显微干涉模块，经参考镜和微球分别反射后，通过移动光程匹配模块中的位移台来匹配测试光路和参考光路的光程差，最终在相机上获得干涉图。本发明提出的装置能够有效解决激光干涉技术中缺陷跃变处的2π整数倍相位缺失问题，实现全视场的微球零位干涉测量，通过光程匹配模块实现不同直径微球以及微球内外表面的表面缺陷绝对高度测量，从而获取其表面缺陷信息。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 白光 显微 干涉 内外 表面 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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