[发明专利]一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211209115.2 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115436323A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 张亚勋;赵丹妮;于津健;宋清浩;汤晓云;刘志海;张羽;苑立波 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G02B6/255 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 相黎超 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器及其制作方法。蜘蛛丝与标准单模光纤拉锥成的微纳光纤分别是Mach‑Zehnder干涉仪的两个干涉臂。本发明利用微纳光纤的强倏逝场特性，实现蜘蛛丝内的光耦合，蜘蛛丝对湿度变化敏感，湿度增加，水分进入蜘蛛丝内部改变蜘蛛丝的折射率，输出的干涉光谱随之变化，可实现对外界相对湿度变化的高灵敏度测量。同时这种MZ干涉结构传感器具有小质量、低成本、易实现、较环保、生物相容性好的特点，能够为微结构集成光学传感领域提供更好的平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 蜘蛛 光纤 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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