[发明专利]一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

取一段单模光纤，将单模光纤制作成微纳光纤，将制作好的微纳光纤固定在氟化镁片上，并使光纤两端伸出氟化镁片；

将蜘蛛丝固定在所述微纳光纤的一侧，并把蜘蛛丝两端弯向微纳光纤，蜘蛛丝中间部分远离微纳光纤，组成MZ干涉结构；

将光源连接到所述微纳光纤的一端，光电探测器固定在所述微纳光纤的另一端，获得湿度传感器。

2.根据权利要求1所述的基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器的制作方法，其特征在于，所述将单模光纤制作成微纳光纤的方法包括：

剥除光纤外的涂覆层，对裸光纤区域进行加热，将光纤加热到熔融状态时，拉伸加热区两端光纤，制得微纳光纤。

3.一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器，其特征在于，包括：光源、MZ干涉结构、光电探测器；

所述光源用于发射光；

所述MZ干涉结构与所述光源连接，用于产生干涉光；

所述光电探测器与所述MZ干涉结构连接，用于探测接收和记录所述MZ干涉结构产生的干涉光。

4.根据权利要求3所述的基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器，其特征在于，

所述MZ干涉结构包括微纳光纤、蜘蛛丝、氟化镁片；

所述微纳光纤与所述光源连接，用于通过光；

所述蜘蛛丝固定在所述微纳光纤的一侧，并且两端靠近所述微纳光纤，中间远离所述微纳光纤，用于与所述微纳光纤耦合光并共同产生干涉光；

所述氟化镁片用于固定所述微纳光纤和蜘蛛丝。