[发明专利]一种集成激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211208627.7 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115548879A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 孙维忠;丁振文;刘超 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/12;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种集成激光器及其制备方法，涉及半导体器件技术领域，本申请的集成激光器，包括衬底，衬底划分有主激光器区域和从激光器区域，主激光器区域设置有DFB激光器，从激光器区域设置有VCSEL，DFB激光器的第一有源区与VCSEL的第二有源区同层设置且连接，以使由第一有源区出射的光子入射第二有源区。本申请提供的集成激光器及其制备方法,在同一晶圆上集成DFB激光器和VCSEL,实现DFB激光器对VCSEL的稳定光耦合锁定，减小了OIL激光器的尺寸和复杂性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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