[发明专利]一种悬浮式图案真空镀膜机及镀膜方法在审
| 申请号： | 202211201561.9 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115418613A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 王用兵;孙效刚;王国涛;刘佩杰 | 申请（专利权）人： | 山东省宝丰镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 史传英 |
| 地址： | 262500 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬浮式图案真空镀膜机及镀膜方法，真空镀膜机包括小车、真空抽气系统、水汽系统、电器控制系统以及真空在线测量系统，真空镀膜机还包括真空室以及位于真空室内的放卷轴、图案镀油印系统、蒸发源、主辊、收卷轴、位于放卷轴和主辊之间的第一导辊系统以及位于主辊和收卷轴之间的第二导辊系统；第一导辊系统包括位于图案镀油印系统侧部的放展平辊、位于放展平辊和放卷轴之间的数个第一导辊、位于主辊侧部的中展平辊以及位于放展平辊和中展平辊之间的第二导辊，蒸发源位于第二导辊和中展平辊之间，位于第二导辊和中展平辊之间的薄膜相对于蒸发源悬浮设置，提高薄膜上形成的图案的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 图案 真空镀膜 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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