[发明专利]电容式微机械加速度计在审
| 申请号： | 202211163971.9 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115453146A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 严世涛;占瞻;杨珊;马昭;阚枭;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 赵胜宝 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了电容式微机械加速度计。电容式微机械加速度计包括具有锚点的基底、设置于基底的一侧且弹性连接于锚点的至少一检测结构对以及和检测结构对间隔设置的检测电极，检测结构对包括分别弹性连接于基底的两个跷跷板结构，跷跷板结构相对于其锚点所在转轴非对称，两个跷跷板结构的非对称部分反向且平行；在检测模态时，两个跷跷板结构分别和检测电极形成的间隔的间距大小变化方向相反。本方案的加速度计受到旋转角加速度噪声影响时，两个跷跷板结构会以对应的锚点为转轴在相同方向旋转倾斜，引起差分电容的共模变化而将影响抵消，从而降低外界转动角加速度噪声或者应力等外界因素对加速度计检测的影响，提升检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
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