[发明专利]一种混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法在审
| 申请号： | 202211148772.0 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115479558A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡志华;魏淑玉;张韵琦;李英 | 申请（专利权）人： | 齐鲁中科光物理与工程技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 步丽丽 |
| 地址： | 250000 山东省济南市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学检测技术领域，具体地涉及一种混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法，其检测装置设备包括干涉仪、球面标准镜、混合补偿器、以及被检镜；球面标准镜放置于干涉仪和所述混合补偿器之间，被检镜放置在所述混合补偿器的另一侧；干涉仪发出激光照射到所述球面标准镜上后转换为球面波；球面波经混合补偿器之后被调制成符合被检镜面形的波前，并形成干涉条纹；调整所述干涉仪和/或所述混合补偿器或/所述被检镜的位置直至所述干涉条纹为零条纹，以得到被检镜的面形信息；检测装置中混合补偿器根据被检镜进行设计，其中的平凹透镜和CGH各补偿一部分像差，能够降低CGH的制作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 补偿 口径 陡度 球面 反射 检测 方法 | ||
【主权项】：
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