[发明专利]一种混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法

权利要求书

1.一种混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法，其特征在于，包括：

(1)首先根据被检镜参数设计满足检测要求的CGH混合补偿器；

(2)将CGH混合补偿器未刻蚀面优化球面，并重新设计CGH，降低CGH条纹刻线密度；

(3)通过CGH对准区域调节混合补偿器和激光干涉仪之间的位置；

(4)通过CGH基准区域调节混合补偿器与被检镜之间的位置；

(5)最后根据干涉条纹调整被检镜，使激光干涉仪所得干涉条纹为零条纹。

2.根据权利要求1所述的混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法，其特征在于：步骤(2)中，对所述混合补偿器的检测区域的CGH条纹密度进行检测要求，若条纹密度小于1μm，需要将所述CGH前表面更改为球面。

3.根据权利要求1所述的混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法，其特征在于：步骤(2)中，重新设计CGH，计算CGH条纹线宽，直至CGH条纹线宽大于2μm。

4.根据权利要求1所述的混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法，其特征在于：步骤(3)中，使用激光干涉仪对加工完成后的平凹透镜面形进行检测，其球面采用激光干涉仪和球面标准镜进行检测，平面采用激光干涉仪和平面标准镜进行检测。

5.根据权利要求1所述的混合补偿式大口径高陡度凹非球面反射镜的检测方法，其特征在于：步骤(5)中，根据CGH对准区域和基准区域调整CGH和激光干涉仪，被检镜和CGH之间的位姿，得到干涉条纹。

6.一种大口径高陡度凹非球面反射镜检测装置，其特征在于：包括激光干涉仪、标准镜、混合补偿器、被检镜；所述标准镜放置在激光干涉仪和混合补偿器之间，所述被检镜放置在所述混合补偿器的另一侧，所述混合补偿器根据被检镜的几何参数进行设计得到，包括平凹透镜和刻画在平凹透镜上的CGH，所述激光干涉仪发出激光照射到所述球面标准镜上后转换为球面波；所述球面波经所述混合补偿器之后被调制成符合所述被检镜面形的波前，并形成干涉条纹；调整所述干涉仪和/或所述混合补偿器或/和所述被检镜的位置直至所述干涉条纹为零条纹，以得到被检镜的面形信息。

7.根据权利要求6所述的大口径高陡度凹非球面反射镜检测装置，其特征在于：所述激光干涉仪通过干涉仪调整装置进行位置调节，混合补偿器通过混合补偿器调整装置进行位置调节；被检镜通过被检镜调节装置进行位置调节。

8.根据权利要求6所述的大口径高陡度凹非球面反射镜检测装置，其特征在于：所述球面标准镜满足：F≥R，r0r；其中，F为所述球面标准镜的F/#，R为所述被检镜的R/#，r0为所述球面标准镜的光学面曲率半径，r为所述被检镜的曲率半径。

9.根据权利要求6所述的大口径高陡度凹非球面反射镜检测装置，其特征在于：所述混合补偿器根据所述被检镜的几何参数进行设计得到，包括：

根据所述被检镜参数，获得平凹透镜参数和CGH设计参数，并将CGH刻画在平凹透镜上，同时CGH刻线密度要大于等于2μm，得到混合补偿器。