[发明专利]一种具有可调谐介电近零波长的介质/金属层堆积纳米薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211128863.8 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN115637413A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 陈溢杭;董剑楠;张飞连;吴栋;宋云飞;陆延欣 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 叶琼园;邓仲欢 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有可调谐介电近零波长的介质/金属层堆积纳米薄膜及其制备方法。所述介质/金属层堆积纳米薄膜包括基底以及成型于所述基底上的层堆积结构，所述层堆积结构包括交替层叠的至少一层介质层以及至少一层金属层，本发明将金属材料与介质材料交替层叠形成堆积结构，根据有效介质理论，通过对介质层材料以及金属层材料进行限定选用并控制其所占的体积比例，即可对所述纳米薄膜整体的等效介电常数进行控制，实现介电近零波长的可调谐，本发明实施例所述方案具有易制备、低成本并可实现大规模生产的优点，另外，通过合理控制分配所述介质层与所述金属层各自所占的体积分数，能够实现将介电近零波长调谐至可见光波段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 调谐 介电近零 波长 介质 金属 堆积 纳米 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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