[发明专利]声波激励磁电天线的制备方法及其结构在审
| 申请号： | 202211124036.1 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN115483528A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 胡瑞;曾中明;林文魁;云小凡;张宝顺;徐德超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q1/50;H01Q19/10 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 陆颖 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声波激励磁电天线的制备方法以及声波激励磁电天线结构，所述声波激励磁电天线的制备方法包括：在衬底上依次沉积第一支撑层、底电极层、压电薄膜层以及磁致伸缩薄膜层；依次对磁致伸缩薄膜层、压电薄膜层以及底电极层进行图形化刻蚀，并暴露第一支撑层；在第一支撑层上沉积绝缘层并进行图形化刻蚀，以形成隔离磁致伸缩薄膜层和底电极层的绝缘环。本发明的声波激励磁电天线的制备方法及声波激励磁电天线结构，合理的工艺流程和工艺水平以及良好的结构设计使得本发明的声波激励磁电天线具有高增益和较大宽带的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 激励 磁电 天线 制备 方法 及其 结构 | ||
【主权项】：
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