[发明专利]一种CWDM光发送芯片在审
| 申请号： | 202211099433.8 | 申请日： | 2022-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN115598767A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 张凯鑫;张赞允 | 申请（专利权）人： | 苏州微光电子融合技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/122;G02B6/14;G02B6/132;G02B6/136;G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 苏州博格华瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 32558 | 代理人： | 匡立岭 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CWDM光发送芯片，包括：SiNx光栅耦合器、SiNx模斑转换器、波导转换器、SiNx‑薄膜铌酸锂电光调制器、SiNx‑薄膜铌酸锂波导器件、SiNx‑薄膜铌酸锂CWDM波分复用器，其特征在于，SiNx材料沉积在二氧化硅衬底层，形成SiNx波导器件层，薄膜铌酸锂直接键合在SiNx波导器件层上，SiNx波导器件层用于刻蚀SiNx‑薄膜铌酸锂波导器件，SiNx波导器件层上依次覆盖二氧化硅薄膜层与薄膜铌酸锂层；本发明利用薄膜铌酸锂材料的电光调制特性，采用倒脊形波导结构，能够实现高速电光调制，将波分复用与电光调制集成，实现了高速率、大容量的信号传输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cwdm 发送 芯片 | ||
【主权项】：
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