[发明专利]一种受台调节装置及具有其的裂片机在审
| 申请号： | 202211098670.2 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN115570688A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 温子勋;张文杰;张一暾;马修远;刘亚洲 | 申请（专利权）人： | 河北圣昊光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;H01S5/02;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 郑越 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种受台调节装置及具有其的裂片机。一种受台调节装置，包括：受台结构，包括开合设置的两个受力端和设于受力端下方的抵接端，两个受力端之间设有裂解线，裂解线和抵接端平行设置；水平调节结构，与受台结构滑动连接，水平调节结构包括至少一个伸出端和至少一个伸缩调节件，伸出端上设有伸缩调节件、且伸缩调节件与抵接端抵接，伸缩调节件的轴线方向与裂解线垂直设置，驱动伸缩调节件沿自身轴线方向伸出或缩回，以使抵接端带动受力端沿垂直于裂解线方向移动。本发明解决裂片机的受台往复开合次数多，导致裂解线在垂直方向上发生偏移，无法与刀具的刀刃线、相机的中心线处于同一平面内，影响裂解精度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 装置 具有 裂片 | ||
【主权项】：
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