[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202211092929.2 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN115875280A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 眞锅雅嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/52 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高了大流量排气时的背压特性的真空泵。真空泵(1)包括框体(2)、转子圆筒部(23)以及定子圆筒部(6)。框体(2)具有抽吸气体的吸气口(14)以及排出所抽吸的气体的排气口(16)。转子圆筒部(23)收纳于框体(2)。定子圆筒部(6)收纳于框体(2)，并与转子圆筒部(23)相向地配置。在定子圆筒部(6)与转子圆筒部(23)的其中一个相向面形成有螺纹槽(60)。关于螺纹槽(60)的槽深度(D)，排气侧的端(6b)比吸气侧的端(6a)更小。关于槽深度(D)的减少比例，吸气侧比排气侧更大。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
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