[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种提高了大流量排气时的背压特性的真空泵。真空泵(1)包括框体(2)、转子圆筒部(23)以及定子圆筒部(6)。框体(2)具有抽吸气体的吸气口(14)以及排出所抽吸的气体的排气口(16)。转子圆筒部(23)收纳于框体(2)。定子圆筒部(6)收纳于框体(2)，并与转子圆筒部(23)相向地配置。在定子圆筒部(6)与转子圆筒部(23)的其中一个相向面形成有螺纹槽(60)。关于螺纹槽(60)的槽深度(D)，排气侧的端(6b)比吸气侧的端(6a)更小。关于槽深度(D)的减少比例，吸气侧比排气侧更大。

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

在半导体制造装置等领域中，为了形成高真空环境而使用了真空泵(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1所示的真空泵中，设置有配置于吸气口侧的涡轮泵部与配置于排气口侧的拖曳泵部。

利用涡轮分子泵进行排气时的性能指标有相对于流动的气体流量的吸气口压力，随着气体流量的增加，吸气口压力增加。

另外，作为利用涡轮分子泵进行排气时的其他性能指标，有背压特性。背压特性表示对在导入了恒定量的气体的状态下，使涡轮分子泵的排气口的压力增加时的吸气口压力的变化进行了测定的结果。随着排气口压力增加，从排气侧向吸气侧逆流的气体分子的数量增加，因此吸气口侧的压力增加。吸气口压力开始上升的排气口压力越高，越可减少逆流的气体分子，从而背压特性良好。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2021-102926号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

另一方面，近年来，流向涡轮分子泵的气体流量处于增加倾向，要求降低大流量排气时的吸气口压力。

为了降低大流量排气时的吸气口压力，有效的是设计成增大拖曳泵部的流导。然而，在所述设计的情况下，不仅从吸气侧向排气侧移动的气体分子增加，而且从排气侧向吸气侧逆流的气体分子增加，因此背压特性变差。

本发明的目的在于提供一种能够应对大流量排气、提高背压特性的真空泵。

[解决问题的技术手段]

本发明的一形态的真空泵包括壳体、转子圆筒部以及定子圆筒部。壳体具有抽吸气体的吸气口以及排出所抽吸的气体的排气口。转子圆筒部收纳于壳体。定子圆筒部收纳于壳体，并与转子圆筒部相向地配置。在定子圆筒部与转子圆筒部的其中一个相向面形成有螺纹槽。关于螺纹槽的槽深度，排气侧的端比吸气侧的端更小。关于槽深度的减少比例，吸气侧比排气侧更大。

[发明的效果]

根据以上所述的本发明的形态，可提供一种能够应对大流量排气、提高背压特性的真空泵。

附图说明

图1是实施方式1的真空泵的外观图。

图2是从吸气侧观察实施方式1的真空泵的定子圆筒部的立体图。

图3是从与图2相反一侧观察实施方式1的真空泵的定子圆筒部的立体图。

图4的(a)是从内侧观察实施方式1的真空泵的定子圆筒部的吸气侧的端附近的螺纹牙的图，图4的(b)是从内侧观察实施方式1的真空泵的定子圆筒部的排气侧的端附近的螺纹牙的图。

图5是实施方式1的真空泵的定子圆筒部的相对于螺纹角度而垂直的剖面图。

图6是表示实施方式1的真空泵的定子圆筒部的螺纹槽深度的变化的图。

图7是表示比较例中的螺纹槽深度的变化的图。