[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，包括：

壳体，具有抽吸气体的吸气口以及排出所抽吸的气体的排气口；

转子圆筒部，收纳于所述壳体；以及

定子圆筒部，收纳于所述壳体，并与所述转子圆筒部相向地配置，

在所述定子圆筒部与所述转子圆筒部的其中一个相向面形成有螺纹槽，

关于所述螺纹槽的槽深度，排气侧的端比吸气侧的端更小，

关于所述槽深度的减少比例，所述吸气侧比所述排气侧更大。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中

所述螺纹槽具有：

第一部分，所述槽深度的减少比例恒定；以及

第二部分，与所述第一部分相比，配置于更靠所述排气侧处，所述槽深度的减少比例恒定，

所述第一部分的减少比例比所述第二部分的减少比例大。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其中

所述第一部分与所述第二部分在减少比例的变化部分相连，

若将所述第一部分的所述吸气侧的端处的所述槽深度设为Da、

将所述第二部分的所述排气侧的端处的所述槽深度设为Db、

将所述变化部分处的所述槽深度设为Dc，

则满足Db≤Dc≤(Da+Db)×0.5。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其中

若将从所述第一部分的所述吸气侧的端至所述变化部分的沿着所述转子圆筒部的轴向的长度设为La、

将从所述第一部分的所述吸气侧的端至所述第二部分的所述排气侧的端的沿着所述轴向的长度设为Lb，

则满足0＜La＜Lb×2/3。

5.根据权利要求3或4所述的真空泵，其中

还满足1.5≤Da/Db。

6.根据权利要求1所述的真空泵，其中

所述螺纹槽具有所述槽深度的减少比例不同的多个部分，

所述槽深度的减少比例最大的部分与所述槽深度的减少比例最小的部分相比，配置于更靠所述吸气侧处。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其中

所述槽深度的减少比例最大的部分配置于所述多个部分中最靠所述吸气侧处。

8.根据权利要求6或7所述的真空泵，其中

所述槽深度的减少比例最小的部分配置于所述多个部分中最靠所述排气侧处。