[发明专利]超薄壁金属内衬真空腔室的制作方法有效
| 申请号： | 202211092747.5 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN116133225B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 蒙峻;罗成;杨建成;杨伟顺;焦纪强;魏宁斐;谢文君;柴振;刘建龙;李长春;蔺晓建;万亚鹏;朱小荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H05H7/18 | 分类号： | H05H7/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张月娟 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超薄壁金属内衬真空腔室的制作方法，包括如下步骤：零件加工：通过将真空腔室模具放置在架台上对半结构的超薄壁真空腔室进行加工；通过3D打印对金属内衬进行制作，通过数控加工中心对法兰进行加工；表面净化：通过有机溶剂清洗和超声波清洗的方式对半结构的超薄壁真空腔室、金属内衬和法兰进行清洗并烘干；装配：将若干个金属内衬放入两个半结构的超薄壁真空腔室之间，将两个分离的半结构的超薄壁真空腔室采用若干个夹具夹紧；焊接：将用夹具夹紧的两个半结构的超薄壁真空腔室进行焊接；将两个加工好的法兰焊接在完整的超薄壁真空腔室的两端；检漏：利用氦质谱检漏法检测焊接部位是否漏气。 | ||
| 搜索关键词： | 薄壁 金属 内衬 空腔 制作方法 | ||
【主权项】：
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