[发明专利]一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法在审
| 申请号： | 202211089838.3 | 申请日： | 2022-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN116288192A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王志强;钟嘉珉;陈德宏;李宗安;庞思明;张小伟;吴道高;程军;杨秉政;张艳岭;张洪超;程博 | 申请（专利权）人： | 有研稀土新材料股份有限公司;有研稀土高技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C28/00;C22F1/16;C21D9/00;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京中创云知识产权代理事务所(普通合伙) 11837 | 代理人： | 肖佳 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，包括如下步骤：将稀土旋转靶材与预设金属靶管制备成稀土合金旋转靶材，稀土旋转靶材的材料为铽、镝、钬、钆中的一种，预设金属靶管包括铝、铜、镍、铁等中的至少一种；将稀土合金旋转靶材与背管焊接在一起；将稀土合金旋转靶材与背管安装于镀膜生产线上；对磁铁进行热处理和回火处理，得到处理后的稀土合金靶材。为提高稀土靶材利用率、溅射效率和实现成分精准控制，同时达到缩短晶界扩散时间或降低扩散温度，将稀土与预设金属元素组合制备成合金旋转靶材，靶材利用率可达85％以上，实现铽/镝等稀土和预设金属元素同时附着在钕铁硼表面，有助于改善晶界扩散和优化磁体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 钕铁硼 性能 稀土 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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