[发明专利]一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法

权利要求书

1.一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将稀土旋转靶材与预设金属靶管制备成稀土合金旋转靶材，所述稀土旋转靶材的材料为铽、镝、钬、钆中的一种，所述预设金属靶管包括铝、铜、镍、铁等中的至少一种；

(2)将所述稀土合金旋转靶材与背管焊接在一起；

(3)将所述稀土合金旋转靶材与所述背管安装于镀膜生产线上，靶材功率密度为0.5W/cm²-6W/cm²，磁体增重控制在0.2％-0.6％；

(4)对磁铁进行热处理和回火处理，得到处理后的稀土合金靶材。

2.根据权利要求1所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，步骤(1)中，通过熔铸法或粉末冶金法将所述稀土旋转靶材与所述预设金属靶管制备成所述稀土合金旋转靶材。

3.根据权利要求1或2所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，

所述稀土旋转靶材的材料为铽或镝。

4.根据权利要求1-3任一所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，

所述预设金属靶管包括铝和/或铜。

5.根据权利要求1-4任一所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述稀土合金旋转靶材中稀土含量为80％-95％，其余为所述预设金属的含量,优选85％～90％。

6.根据权利要求1-5任一所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述靶材功率密度为3W/cm²-5W/cm²。

7.根据权利要求1-6任一所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，在步骤(4)中，所述热处理的温度为600℃-950℃，所述热处理的时长为5h-10h。

8.根据权利要求7所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，所述热处理的温度为800℃-900℃。

9.根据权利要求1-8任一所述的提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，其特征在于，在步骤(4)中，所述回火处理的温度为400℃-600℃，所述回火处理的时长为2h-6h。