[发明专利]一种涡轮分子泵用定子防尘组件在审
| 申请号： | 202211058220.0 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115263776A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 张德伟;汤介峰;荆泉;陈力均 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/54;F04D29/52;F04D29/70;F04D29/58 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 闫学文 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种涡轮分子泵用定子防尘组件，具体涉及半导体领域领域，包括泵壳，泵壳的内部具有空腔，泵壳的顶端固定安装有护网，泵壳的底端通过螺纹连接有底盖，底盖的顶端固定安装有定子，定子的表面固定连接有固定基座，固定基座外围转动连接有转子，转子的表面自上而下等间距固定安装有多组动叶片，其技术要点为：通过在转子和固定基座之间设置有刚性套筒组件，刚性套筒组件包含有刚性套筒本体和套筒导向槽，套筒导向槽呈螺纹旋转向下，且套筒导向槽的旋转方向与动叶片的偏转方向一致，当转子进行旋转带动气流旋转而下顺着套筒导向槽的槽口进入，在不影响气流流动的同时防止气流进行反涌，从而达到防尘的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涡轮 分子 定子 防尘 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211058220.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低层装配式混凝土结构体系的施工方法
- 下一篇：一种节能型粮食冷藏存储仓房
