[发明专利]弹性膜及弹性膜的制造方法在审
| 申请号： | 202211054241.5 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115723041A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 锅谷治;富樫真吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有对弹性膜的各部位所要求的物理性能并能够均匀地研磨工件的弹性膜及弹性膜的制造方法。弹性膜(30)具备：抵接部(31)，其具有用于将工件(W)按压于研磨面(2a)的工件按压面(31a)；及隔壁(32～37)，从抵接部(31)向上方延伸并形成压力室(C1～C6)，抵接部(31)和隔壁(32～37)的至少一部分由一体成形的第一橡胶结构体(41)和第二橡胶结构体(42)构成，第一橡胶结构体(41)具有第一硬度，第二橡胶结构体(42)具有低于第一硬度的第二硬度，第一橡胶结构体(41)包含工件按压面(31)，第二橡胶结构体(42)包含隔壁(32～37)的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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