[发明专利]用于晶圆回收的收料装置在审
| 申请号： | 202211047755.8 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115321191A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;高峰 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G60/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于晶圆回收的收料装置，包括底座组件和第一升降组件，还包括与第一升降组件结构相同的第二升降组件，第一升降组件和第二升降组件镜像分布设置在底座组件上沿着X轴方向的两侧位置。本发明采用双料盒结构，一个料盒满了，自动退出，第二个料盒进入收料，留出取放更换料盒充裕时间；通过升降台包括升降台运动板和升降台底板的结构设置，以及第三导轨组件、导向轴、压缩弹簧和传感器单元的配合，具有撞击保护报警的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 回收 装置 | ||
【主权项】：
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